利用快速熱退火技術增進金屬誘發側向結晶的速率 | 連鎖超商/餐飲業者
由龔君偉著作·2004—要不就利用更昂貴的石英基板,不然就是低溫製程。而RTA似乎是另一.個可行的方法,不但可以避免高溫製程對玻璃的傷害,更進一步可以有.更快速的複晶矽成長 ...
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