退火爐的原理@ 盧大的部落格 | 連鎖超商/餐飲業者

(解答).RTA(RapidThermalannealing)快速熱退火處理系統，主要是利用快速升降溫的方式對晶片 ...

RTA(Rapid Thermal annealing)

快速熱退火處理系統，主要是利用快速升降溫的方式對晶片做有效的熱處理，並減少雜質的外擴散效應，較傳統的爐管減少許多熱運算。同時，通入O2後，此系統具有長薄氧化層的功能(RTO)。目前機台使用的溫度範圍600~12000C，升溫速率 <1000C，4吋晶片為主。

退火原理( annealing)

將金屬緩慢加熱到一定溫度﹐保持足夠時間﹐然後以適宜速度冷卻(通常是緩慢冷卻﹐有時是控制冷卻)的一種金屬熱處理工藝。目的是使經過鑄造﹑鍛軋﹑焊接或切削加工的材料或工件軟化﹐改善塑性和韌性﹐使化學成分均勻化﹐去除殘餘應力﹐或得到預期的物理性能。退火工藝隨目的之不同而有多種﹐如重結晶退火﹑等溫退火﹑均勻化退火﹑球化退火﹑去除應力退火﹑再結晶退火﹐以及穩定化退火﹑磁場退火等等。

退火的一個最主要工藝參數是最高加熱溫度(退火溫度)﹐大多數合金的退火加熱溫度的選擇是以該合金系的相圖為基礎的﹐如碳素鋼以鐵碳平衡圖為基礎。各種鋼(包括碳素鋼及合金鋼)的退火溫度﹐視具體退火目的的不同而在各該鋼種的以上﹑以上或以下的某一溫度。各種非鐵合金的退火溫度則在各該合金的固相線溫度以下﹑固溶度線溫度以上或以下的某一溫度。

重結晶退火 應用於平衡加熱和冷卻時有固態相變(重結晶)發生的合金。其退火溫度為各該合金的相變溫度區間以上或以內的某一溫度。加熱和冷卻都是緩慢的。合金於加熱和冷卻過程中各發生一次相變重結晶﹐故稱為重結晶退火﹐常被簡稱為退火。

這種退火方法﹐相當普遍地應用於鋼。鋼的重結晶退火工藝是﹕緩慢加熱到(亞共析鋼)或(共析鋼或過共析鋼)以上30～50﹐保持適當時間﹐然後緩慢冷卻下來。通過加熱過程中發生的珠光體(或者還有先共析的鐵素體或滲碳體)轉變為奧氏體(第一回相變重結晶)以及冷卻過程中發生的與此相反的第二回相變重結晶﹐形成晶粒較細﹑片層較厚﹑組織均勻的珠光體(或者還有先共析鐵素體或滲碳體)﹐退火溫度在以上(亞共析鋼)使鋼發生完全的重結晶者﹐稱為完全退火﹐退火溫度在與之間 (亞共析鋼)或與之間(...