半導體製程技術 | 連鎖超商/餐飲業者
閒置時通入製程氮氣氣流.▫在製程氮氣氣流下把晶舟推入爐管.▫在製程氮氣氣流下昇高溫度.▫在製程氮氣氣流下穩定溫度.▫關閉氮氣氣流,通入氧化製程用的 ...
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