RTA(“快速热退火”缩写) | 連鎖超商/餐飲業者
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“快速热退火”缩写
本词条缺少概述图,补充相关内容使词条更完整,还能快速升级,赶紧来编辑[7]吧!RTA是将工件加热到较高温度,根据材料和工件尺寸采用不同的保温时间,然后进行快速冷却,目的是使金属内部组织达到或接近平衡状态,获得良好的工艺性能和使用性能。
中文名 快速热退火 外文名 rapid thermal annealing 简 称 RTA 目 的 使金属获得良好的工艺和使用性能 应用于 现代半导体产业RTA在现代半导体产业有重要的应用。可以用极快的升温在目标温度(1000℃左右)短暂持续,对硅片进行热处理。注入硅片的退火经常在注入Ar或者N2的快速热处理机(RTP)中进行。快速的升温过程和短暂的持续时间能够在晶格缺陷的修复、激活杂质和最小化杂质扩散三者之间取得优化。RTA还能减小瞬时增强扩散。RTA是控制前结注入中结深最佳方法。
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「快速熱退火原理」懶人包資訊整理 (1) | 連鎖超商/餐飲業者
生長時間,原理主要是藉由鎳與矽(Si)之間的反應產生二矽化鎳(NiSi2),進行退火後可 ... ,快速熱退火Rapid Thermal Annealer (RTA). 一、 廠牌與型號:. MILA-5000. ,不像 ... Read More
以快速熱退火法加強金屬側向誘發結晶速率之研究 | 連鎖超商/餐飲業者
RTA 的原理是利用紅外線光的能量,來使得非晶矽吸收能量,進而快. 速反應生長MILC。而在生長MILC 的過程中,藉由水冷跟氣冷來達成. 快速退火。我們可以看到當採用石英基板 ... Read More
快速熱退火 | 連鎖超商/餐飲業者
在低溫器件,如玻璃襯底的多晶矽薄膜太陽電池套用中也具有很大的潛力。 固相晶化非晶矽 (a- S i)薄膜法是一種最常見的間接製備多晶矽薄膜方法。這種技術的優點是能實現薄膜 ... Read More
快速退火 | 連鎖超商/餐飲業者
快速熱退火是用各種熱輻照源,直接照射在樣品表面上,迅速將樣品加熱至700~1200℃左右在幾秒~幾十秒的時間內完成退火。它與常規熱退火相比,有下列優點:樣品在相同的 ... Read More
退火 | 連鎖超商/餐飲業者
退火(Annealing),在冶金學或材料工程,是一種改變材料微結構且進而改變如硬度和強度等機械性質的熱處理。 過程為將金屬加溫到高於再結晶溫度的某一温度並維持此溫度 ... Read More
退火爐的原理 | 連鎖超商/餐飲業者
快速熱退火處理系統,主要是利用快速升降溫的方式對晶片做有效的熱處理,並減少雜質的外擴散效應,較傳統的爐管減少許多熱運算。同時,通入O2後,此系統具有長薄氧化層 ... Read More
退火爐的原理@ 盧大的部落格 | 連鎖超商/餐飲業者
RTA(Rapid Thermal annealing) 快速熱退火處理系統,主要是利用快速升降溫的方式對晶片做有效的熱處理,並減少雜質的外擴散效應,較傳統的爐管減少許多熱運算。 Read More
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