離子佈植 | 連鎖超商/餐飲業者
快速加熱退火的製程(RTP)是很廣泛的使用在佈植後的.退火程序.•RTA是很快速(100to150°C/sec),且較好的溫度均勻性.控制,同時可減少摻雜物的擴散.多晶矽.矽.
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半導體 | 連鎖超商/餐飲業者
2011年10月8日 — 快速熱回火：RTA (rapid thermal anneal)。 兩者間主要差別在於爐管回火可同時應用在多批晶圓(batch)，而RTA 是單片(single wafer) 製程。 Read More
火侯拿捏精準到位半導體製程再進化 | 連鎖超商/餐飲業者
2017年10月30日 — 但退火的溫度和速度是門大學問，隨著半導體技術的演進，退火技術也從傳統的爐管到現行的快速熱退火處理（Rapid Thermal Annealing；RTA） ... Read More
源於日常生活的工業製程大躍進 | 連鎖超商/餐飲業者
的退火設備，原有前後上下游的製程都不需要更動。 工研院機械與機電系統研究所資深研究員黃昆平表. 示，RTA 的作法是熱傳統方式，以瞬間高溫 ... Read More
快速升溫製程處理(RTP) | 連鎖超商/餐飲業者
快速升溫製程處理(RTP) ... 退火產品廣泛應用於半導體元件製造，目的是改變材料的電性或物理特性（電導率、介電常數、緻密化或減少污染）。 以長溫退火、瞬間 ... Read More
利用快速熱退火技術增進金屬誘發側向結晶的速率 | 連鎖超商/餐飲業者
由 龔君偉 著作 · 2004 — 要不就利用更昂貴的石英基板，不然就是低溫製程。而RTA 似乎是另一. 個可行的方法，不但可以避免高溫製程對玻璃的傷害，更進一步可以有. 更快速的複晶矽成長 ... Read More
中華大學碩士論文 | 連鎖超商/餐飲業者
的雷射退火製程(laser annealing)取代高溫的爐管快速退火製程RTA 製程，以改善. RTA 製程中source-drain的低參雜活化(low doping activation)及較差的高介電 ... Read More
博碩士論文行動網 | 連鎖超商/餐飲業者
FLA製程是用於取代離子注入的製程後延伸到深層接面後的RTA的活化製程技術。在傳統的快速熱回火RTA製程，熱擴散會擴散通過到源極和汲極，因此它無法被 ... Read More
450mm晶圓在快速與閃光燈熱退火下之形變行為 | 連鎖超商/餐飲業者
論文名稱(英文), The deformation behavior of 450mm wafer under RTA/FLA ... 模擬450mm晶圓在理想RTA製程中快速加熱10秒，溫度由22°C上升到1000°C；與在 ... Read More
離子佈植 | 連鎖超商/餐飲業者
快速加熱退火的製程(RTP)是很廣泛的使用在佈植後的. 退火程序. • RTA 是很快速(100 to 150 °C/sec),且較好的溫度均勻性. 控制,同時可減少摻雜物的擴散. 多晶矽. 矽. Read More
晶圓的處理－薄膜 | 連鎖超商/餐飲業者
處理製程. • 氧化. • 化學蒸氣沉積. • 濺鍍. • 擴散. • 離子植入. 蒸發. • 蒸發. • 熱處理 ... 沉積製程前要先經過抽氣、吹. 淨與測漏等步驟， ... RTA：Rapid Thermal Anneal. Read More
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