利用快速熱退火技術增進金屬誘發側向結晶的速率 | 連鎖超商/餐飲業者

由龔君偉著作·2004—1.3.1快速熱退火（RTA）的原理.Page26.12.本實驗退火技術是以快速熱退火為主，跟一般成長複晶矽的爐管退.火方式或是雷射退火方式有所差異，所以特別在此 ...

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