快速熱退火Rapid Thermal Annealer (RTA) | 連鎖超商/餐飲業者
快速熱退火RapidThermalAnnealer(RTA).一、廠牌與型號:.MILA-5000.
一、 廠牌與型號:
MILA-5000
二、重要規格
操作範圍:室溫~ 1200 o C (Max)
試料尺寸: 20 mm x 20 mm x 2.0t mm (Max)
最大加熱速率: 50℃/sec (50℃~1,200℃)真空中
溫度均勻度:±2℃(△=4℃) at 1200℃真空中
三、用途
1.強誘導體薄膜的结晶化退火
2.注入離子後的擴散退火
3.半導體材料的燒成與退火條件研究
4.玻璃基板的均熱退火
5.熱循環試驗與熱衝擊試驗
6.升溫脱離試驗與觸媒試驗
※注意事項:
1. 此溫控器可升溫到1200度,但建議1200度盡量不要作持溫動作。
2. 1100度的話,由於超過了常用溫度的範圍,請以保持5分鐘的程度為標準。
3. 1000度的加熱測試,基本上來說,即使是保持一個小時以上也不會有問題。
4. 上述三個溫度都要在冷卻水的冷卻能力足夠才可以進行升溫,如果冷卻能力不夠,
MIAL-5000內部的over heating 就會動作,而停止加熱。
5. 在放置sample 時,需注意sample在升溫時的熔點,因thermal couple 接觸到sample,
...
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