以快速熱退火法加強金屬側向誘發結晶速率之研究 | 連鎖超商/餐飲業者

另外ELA還有一個優點是能夠成長出結晶性很好的複晶矽，有.5.Page18.很少的缺陷，因此成為目前部分工業界製作LTPS採用的製程方法。圖1-3準分子雷射退火法步驟圖[1].

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